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中国光刻机上市公司包括智光电气、飞凯材料、南大光电、蓝鹰装备等。光刻机，英文也称为Mask Aligner，又称掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统，是制造芯片的核心设备。主要厂商有ASML、尼康......